巨納將出席2016石墨烯高峰論壇
- 分類:公司新聞
- 作者:泰州巨納新能源辦公室
- 來源:
- 發(fā)布時間:2016-04-01 22:25
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【概要描述】? ? ? ?為推進中國石墨烯等碳納米材料的研究和產業(yè)發(fā)展,2016石墨烯高峰論壇將于4月14日在清華大學深圳研究生院舉行。 ? ? ? ?本次論壇將繼續(xù)以石墨烯基納米碳材料的制備器件、工業(yè)化應用開發(fā)等為主題,多個國家和地區(qū)的知名學者和產業(yè)界人士,從學術和產業(yè)化視角探討石墨烯及其他二維材料的研究進展和產業(yè)發(fā)展現狀,為國內外杰出科學家與企業(yè)家搭建一個交流與合作的平臺。 巨納集團SUNANO GROUP也將出席本次論壇,巨納作為我國首個石墨烯國家標準的第一起草單位和組長單位,除了與國內外專家學者交流之外,還會為大家介紹全球最尖端的多密度等離子體CVD系統(tǒng)-NEXTCVD。如果您正從事相關的工作,歡迎到現場與我們交流。 ? 多密度等離子體CVD系統(tǒng)-NEXTCVD SUNANO多功能寬密度等離子體CVD結合了電感耦合和電容耦合輝光放電的優(yōu)點,可在寬密度工藝范圍(109-1013 cm-3)實現穩(wěn)定的等離子體輔助CVD,具有優(yōu)良的材料處理性能和廣泛的應用范圍,是目前全球功能最強大的等離子體CVD系統(tǒng)。 ???????主要特點 l? 主要用于石墨烯表面層數減薄、刻蝕、修飾、改性 l? 多種工作氣體下產生穩(wěn)定的等離子體輝光放電: l? 氬氣、氫氣、氮氣、氧氣、硅烷、硼烷、磷烷、鍺烷、甲烷、氨氣、六氟化?? 硫、四氟化碳、二氧化碳等等。 l? 等離子體密度可調,變化范圍大(109-1013 cm-3) l? 可與磁控濺射同時工作形成共沉積(最多可與四個磁控濺射靶材形成等離子 體輔助沉積),因而可沉積多種多樣的化合物薄膜 廣泛的應用范圍 l? 光伏行業(yè)(氮化硅/非晶硅/微晶硅/等離子體織構與刻蝕) l? 新型二維材料(石墨烯/二硫化鉬等的表面改性及制備) l? 半導體工藝(刻蝕工藝/氮化硅與二氧化硅工藝等) l? 納米材料的生長與納米形貌的刻蝕構造 ? 熱烈歡迎世界各界人士蒞臨巨納集團展臺,溝通交流,共商合作大業(yè)!
巨納將出席2016石墨烯高峰論壇
【概要描述】? ? ? ?為推進中國石墨烯等碳納米材料的研究和產業(yè)發(fā)展,2016石墨烯高峰論壇將于4月14日在清華大學深圳研究生院舉行。
? ? ? ?本次論壇將繼續(xù)以石墨烯基納米碳材料的制備器件、工業(yè)化應用開發(fā)等為主題,多個國家和地區(qū)的知名學者和產業(yè)界人士,從學術和產業(yè)化視角探討石墨烯及其他二維材料的研究進展和產業(yè)發(fā)展現狀,為國內外杰出科學家與企業(yè)家搭建一個交流與合作的平臺。
巨納集團SUNANO GROUP也將出席本次論壇,巨納作為我國首個石墨烯國家標準的第一起草單位和組長單位,除了與國內外專家學者交流之外,還會為大家介紹全球最尖端的多密度等離子體CVD系統(tǒng)-NEXTCVD。如果您正從事相關的工作,歡迎到現場與我們交流。
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多密度等離子體CVD系統(tǒng)-NEXTCVD
SUNANO多功能寬密度等離子體CVD結合了電感耦合和電容耦合輝光放電的優(yōu)點,可在寬密度工藝范圍(109-1013 cm-3)實現穩(wěn)定的等離子體輔助CVD,具有優(yōu)良的材料處理性能和廣泛的應用范圍,是目前全球功能最強大的等離子體CVD系統(tǒng)。
???????主要特點
l? 主要用于石墨烯表面層數減薄、刻蝕、修飾、改性
l? 多種工作氣體下產生穩(wěn)定的等離子體輝光放電:
l? 氬氣、氫氣、氮氣、氧氣、硅烷、硼烷、磷烷、鍺烷、甲烷、氨氣、六氟化?? 硫、四氟化碳、二氧化碳等等。
l? 等離子體密度可調,變化范圍大(109-1013 cm-3)
l? 可與磁控濺射同時工作形成共沉積(最多可與四個磁控濺射靶材形成等離子 體輔助沉積),因而可沉積多種多樣的化合物薄膜
廣泛的應用范圍
l? 光伏行業(yè)(氮化硅/非晶硅/微晶硅/等離子體織構與刻蝕)
l? 新型二維材料(石墨烯/二硫化鉬等的表面改性及制備)
l? 半導體工藝(刻蝕工藝/氮化硅與二氧化硅工藝等)
l? 納米材料的生長與納米形貌的刻蝕構造
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熱烈歡迎世界各界人士蒞臨巨納集團展臺,溝通交流,共商合作大業(yè)!
- 分類:公司新聞
- 作者:泰州巨納新能源辦公室
- 來源:
- 發(fā)布時間:2016-04-01 22:25
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為推進中國石墨烯等碳納米材料的研究和產業(yè)發(fā)展,2016石墨烯高峰論壇將于4月14日在清華大學深圳研究生院舉行。
本次論壇將繼續(xù)以石墨烯基納米碳材料的制備器件、工業(yè)化應用開發(fā)等為主題,多個國家和地區(qū)的知名學者和產業(yè)界人士,從學術和產業(yè)化視角探討石墨烯及其他二維材料的研究進展和產業(yè)發(fā)展現狀,為國內外杰出科學家與企業(yè)家搭建一個交流與合作的平臺。
巨納集團SUNANO GROUP也將出席本次論壇,巨納作為我國首個石墨烯國家標準的第一起草單位和組長單位,除了與國內外專家學者交流之外,還會為大家介紹全球最尖端的多密度等離子體CVD系統(tǒng)-NEXTCVD。如果您正從事相關的工作,歡迎到現場與我們交流。
多密度等離子體CVD系統(tǒng)-NEXTCVD
SUNANO多功能寬密度等離子體CVD結合了電感耦合和電容耦合輝光放電的優(yōu)點,可在寬密度工藝范圍(109-1013 cm-3)實現穩(wěn)定的等離子體輔助CVD,具有優(yōu)良的材料處理性能和廣泛的應用范圍,是目前全球功能最強大的等離子體CVD系統(tǒng)。
主要特點
l 主要用于石墨烯表面層數減薄、刻蝕、修飾、改性
l 多種工作氣體下產生穩(wěn)定的等離子體輝光放電:
l 氬氣、氫氣、氮氣、氧氣、硅烷、硼烷、磷烷、鍺烷、甲烷、氨氣、六氟化 硫、四氟化碳、二氧化碳等等。
l 等離子體密度可調,變化范圍大(109-1013 cm-3)
l 可與磁控濺射同時工作形成共沉積(最多可與四個磁控濺射靶材形成等離子 體輔助沉積),因而可沉積多種多樣的化合物薄膜
廣泛的應用范圍
l 光伏行業(yè)(氮化硅/非晶硅/微晶硅/等離子體織構與刻蝕)
l 新型二維材料(石墨烯/二硫化鉬等的表面改性及制備)
l 半導體工藝(刻蝕工藝/氮化硅與二氧化硅工藝等)
l 納米材料的生長與納米形貌的刻蝕構造
熱烈歡迎世界各界人士蒞臨巨納集團展臺,溝通交流,共商合作大業(yè)!
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